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濺射鍍膜過程是什么?

2020-07-21 17:34:29

鍍膜織物膜基結合力與其表面鈦膜的耐磨性密切相關,鈦膜耐磨性越好,膜基結合就越牢固。磁控濺射鍍膜玻璃即為離線鍍膜玻璃,是在平板玻璃出廠后,再進行鍍膜加工。合格的鍍膜玻璃不僅要滿足光學透射率、反射率、耐磨性能、抗化學腐蝕性能等理化指標,還要保證產品的色調均勻性。

濺射鍍膜過程主要是將欲沉積成薄膜的材料制成靶材,固定在濺射沉積系統的陰極上,待沉積薄膜的基片放在正對靶面的陽極上。

濺射系統抽至高真空后充入氬氣等,在陰極和陽極之間加載高壓,陰陽極之間會產生低壓輝光放電。

近年來磁控濺射技術發展非常迅速,代表性方法有平衡平衡磁控濺射、反應磁控濺射、中頻磁控濺射及高能脈沖磁控濺射等等。

放電產生(sheng)的等離子(zi)體中,氬氣正離子(zi)在電場(chang)作(zuo)用下向陰極(ji)移動,與靶(ba)材(cai)表面(mian)碰(peng)撞,受碰(peng)撞而從靶(ba)材(cai)表面(mian)濺射(she)出的靶(ba)材(cai)原子(zi)稱為濺射(she)原子(zi)。

磁控(kong)濺(jian)(jian)射不僅(jin)應(ying)用于(yu)科研及(ji)工(gong)業領域,已(yi)(yi)延伸到(dao)許多日常(chang)生活用品,主要應(ying)用在化學氣(qi)相沉積制(zhi)(zhi)膜困(kun)難(nan)的(de)薄(bo)(bo)膜制(zhi)(zhi)備。磁控(kong)濺(jian)(jian)射技術(shu)在制(zhi)(zhi)備電子封(feng)裝(zhuang)及(ji)光學薄(bo)(bo)膜方(fang)面已(yi)(yi)有(you)多年(nian),特別是先進(jin)的(de)中(zhong)頻非平(ping)衡磁控(kong)濺(jian)(jian)射技術(shu)也已(yi)(yi)在光學薄(bo)(bo)膜、透(tou)明導電玻璃等方(fang)面得到(dao)應(ying)用。

離子束濺射系統


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