由于要在特定條件下,因此磁控濺射鍍膜系統要滿足真空對環境的要求。制定的各種磁控濺射鍍膜系統的行業標準(包括磁控濺射鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空電鍍機對環境的要求,能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。
磁控濺射(she)鍍膜行業發展優勢(shi)
磁控(kong)濺射鍍(du)膜對環(huan)(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu),一般包括真空(kong)設(she)(she)備對所(suo)處實驗室(shi)(或(huo)車間)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫度(du)、空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)粒等周圍(wei)(wei)環(huan)(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu),和對處于(yu)(yu)真空(kong)狀(zhuang)態(tai)或(huo)真空(kong)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)零件或(huo)表(biao)面要(yao)求(qiu)(qiu)兩(liang)個(ge)方面。這兩(liang)個(ge)方面是(shi)(shi)有(you)密切聯系的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。周圍(wei)(wei)環(huan)(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)好壞(huai)直接影響(xiang)真空(kong)設(she)(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正常(chang)使(shi)(shi)用;而(er)真空(kong)設(she)(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真空(kong)室(shi)或(huo)裝入里面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)零件是(shi)(shi)否清(qing)洗,又直接影響(xiang)設(she)(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)(xing)能(neng)(neng)。如果(guo)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)含有(you)大量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)水蒸氣(qi)(qi)(qi)和灰塵(chen)(chen)(chen),在真空(kong)室(shi)沒(mei)有(you)經過清(qing)洗的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)情況下用油封機(ji)械泵去(qu)抽(chou)氣(qi)(qi)(qi),要(yao)達到預(yu)期的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真空(kong)度(du)很(hen)難的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。眾所(suo)周知,油封式機(ji)械泵不(bu)宜(yi)抽(chou)除對金屬(shu)有(you)腐蝕性(xing)(xing)、對真空(kong)油其(qi)反應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)以(yi)含有(you)顆粒塵(chen)(chen)(chen)埃的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。水蒸氣(qi)(qi)(qi)為可凝性(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti),當大量(liang)抽(chou)除可凝性(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)時,對泵油的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)污染會(hui)更加嚴重,結(jie)果(guo)使(shi)(shi)泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)極限真空(kong)下降,破(po)壞(huai)了泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)(qi)(qi)性(xing)(xing)能(neng)(neng)。口(kou)巨(ju)業環(huan)(huan)境(jing)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)粉(fen)塵(chen)(chen)(chen)是(shi)(shi)以(yi)粉(fen)狀(zhuang)體(ti)(ti)、眼無題(ti)、粉(fen)塵(chen)(chen)(chen)來區分的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。粉(fen)狀(zhuang)體(ti)(ti)是(shi)(shi)粉(fen)末或(huo)固(gu)體(ti)(ti)顆粒的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)集(ji)合或(huo)分散狀(zhuang)態(tai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物質(zhi)(zhi)。所(suo)謂粉(fen)末是(shi)(shi)指微(wei)(wei)小(xiao)(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)固(gu)體(ti)(ti)顆粒的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)集(ji)合,而(er)顆粒是(shi)(shi)指能(neng)(neng)夠一個(ge)一個(ge)計數的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)小(xiao)(xiao)物質(zhi)(zhi)。煙霧(wu)體(ti)(ti)是(shi)(shi)以(yi)固(gu)體(ti)(ti)或(huo)液體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)小(xiao)(xiao)顆粒呈浮狀(zhuang)態(tai)存在于(yu)(yu)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物質(zhi)(zhi)體(ti)(ti)系。物質(zhi)(zhi)無論(lun)是(shi)(shi)固(gu)體(ti)(ti)還(huan)是(shi)(shi)液體(ti)(ti),凡(fan)是(shi)(shi)呈顆粒狀(zhuang)態(tai)均可統(tong)稱為塵(chen)(chen)(chen)粒。以(yi)塵(chen)(chen)(chen)粒直徑的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)大小(xiao)(xiao)來確定(ding)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)清(qing)潔(jie)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)標準,從(cong)而(er)定(ding)制出潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)等級。不(bu)僅(jin)適合于(yu)(yu)有(you)潔(jie)凈(jing)要(yao)求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)口(kou)巨(ju)業部門,也適合于(yu)(yu)真空(kong)對潔(jie)凈(jing)環(huan)(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)。
磁(ci)控濺(jian)射鍍膜的正(zheng)常條件(jian)是:
1.環境溫(wen)度10一30℃
2.相對(dui)濕度不(bu)大(da)于(yu)7a%a
3.冷卻水(shui)進水(shui)溫度不高于25℃
4.冷(leng)卻水(shui)質(zhi)(zhi)城市自來水(shui)或質(zhi)(zhi)量(liang)相(xiang)當(dang)的水(shui)
5.供(gong)電電壓(ya)380V,三相50Hz或(huo)220V,單相50Hz(由(you)所用(yong)電器需要而(er)定),電壓(ya)波(bo)(bo)動范圍(wei)(wei)342-399V或(huo)198-231V,頻(pin)率(lv)波(bo)(bo)動范圍(wei)(wei)49-51Hz
6.設備所(suo)需(xu)的壓縮(suo)空氣(qi)、液氮(dan)、冷熱水等壓力、溫度、消耗(hao)量均應(ying)在產(chan)品使(shi)用說明(ming)書(shu)上寫明(ming)。
7.設備周圍(wei)環境(jing)整潔(jie)、空氣清潔(jie),不應有可(ke)引起電器及其他金屬件表面腐蝕或(huo)(huo)引起金屬間導電的塵埃或(huo)(huo)氣體存(cun)在。
此外(wai),磁控(kong)濺射鍍膜所在實(shi)驗室或(huo)車間應保持清潔衛生。地面為水磨石或(huo)木質涂漆地面、無塵埃(ai)。為防止機械(xie)泵時(shi)排(pai)出(chu)的(de)氣體對實(shi)驗室環境的(de)污染,可采用在泵的(de)排(pai)氣口上面裝設排(pai)氣管道(金屬、橡膠管)的(de)辦法,將氣體排(pai)出(chu)室外(wai)。