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淺談離子束濺射系統應用的幾個特點

2020-07-22 08:55:41

離子束濺射系統應用的特點:

鍍層附著性能好

普通真空鍍膜時,蒸發料粒子大約只以一個電子伏特的能量向工件表面蒸鍍,在工件表面與鍍層之間,形成的界面擴散深度通常僅為幾百個埃(10000埃=1微米=0.0001厘米)。也就是說比一根頭發絲的百分之一還要小。兩者間可以說幾乎沒有連接的過渡層,好似截然分開。而離子鍍時,蒸發料粒子電離后具有三千到五千電子伏特的動能。如果說普通真空鍍膜的粒子相當于一個氣喘吁吁的長跑運動員,那么離子鍍的粒子則好似乘坐了高速火箭的乘客,當其高速轟擊工件時,不但沉積速度快,而且能夠穿透工件表面,形成一種注入基體很深的擴散層,離子鍍的界面擴散深度可達四至五微米,也就是說比普通真空鍍膜的擴散深度要深幾十倍,甚至上百倍,因而彼此粘附得特別牢。對離子鍍后的試件作拉伸試驗表明,一直拉到快要斷裂時,鍍層仍隨基體金屬一起塑性延伸,無起皮或剝落現象發生。可見附著得多么牢固啊!

磁控濺射鍍膜設備濺射方式

繞(rao)鍍能力強

離(li)子(zi)鍍(du)(du)(du)時,蒸(zheng)發(fa)料粒子(zi)是(shi)以帶電(dian)離(li)子(zi)的(de)(de)形式在電(dian)場(chang)中沿著電(dian)力(li)線方(fang)(fang)向運(yun)動,因而(er)凡是(shi)有(you)電(dian)場(chang)存(cun)在的(de)(de)部位(wei),均能(neng)獲得良好(hao)(hao)鍍(du)(du)(du)層,這比(bi)普(pu)通真空(kong)鍍(du)(du)(du)膜只(zhi)能(neng)在直射(she)方(fang)(fang)向上(shang)獲得鍍(du)(du)(du)層優越得多。因此,這種(zhong)方(fang)(fang)法非常適合(he)于鍍(du)(du)(du)復(fu)零件(jian)上(shang)的(de)(de)內孔(kong)、凹槽和(he)窄縫(feng)。等其他(ta)方(fang)(fang)法難(nan)鍍(du)(du)(du)的(de)(de)部位(wei)。用(yong)普(pu)通真空(kong)鍍(du)(du)(du)膜只(zhi)能(neng)鍍(du)(du)(du)直射(she)表面(mian),蒸(zheng)發(fa)料粒子(zi)尤如攀登云梯一樣,只(zhi)能(neng)順梯而(er)上(shang);而(er)離(li)子(zi)鍍(du)(du)(du)則能(neng)均勻(yun)地(di)繞鍍(du)(du)(du)到零件(jian)的(de)(de)背面(mian)和(he)內孔(kong)中,帶電(dian)離(li)子(zi)則好(hao)(hao)比(bi)坐(zuo)上(shang)了直升(sheng)飛機,能(neng)夠沿著規定的(de)(de)航(hang)線飛抵(di)其活動半徑范圍內的(de)(de)任何(he)地(di)方(fang)(fang)。

鍍層(ceng)質量好

離子(zi)鍍(du)(du)的(de)(de)鍍(du)(du)層組(zu)織致(zhi)(zhi)密(mi)、無針孔(kong)、無氣泡(pao)、厚度(du)均(jun)勻(yun)。甚至棱面和凹槽都可(ke)(ke)均(jun)勻(yun)鍍(du)(du)復,不致(zhi)(zhi)形成(cheng)金屬瘤(liu)。像螺紋一類(lei)的(de)(de)零件也能(neng)鍍(du)(du)復,由于這(zhe)種工(gong)藝(yi)方法還能(neng)修(xiu)補工(gong)件表(biao)(biao)面的(de)(de)微(wei)小裂(lie)紋和麻(ma)點等缺陷,故可(ke)(ke)有效(xiao)地改善(shan)被鍍(du)(du)零件的(de)(de)表(biao)(biao)面質量(liang)和物(wu)理機械性能(neng)。疲勞試(shi)驗表(biao)(biao)明(ming),如果處理得當,工(gong)件疲勞壽命可(ke)(ke)比鍍(du)(du)前(qian)高百分之二、三十。

清洗(xi)過程簡化

現有鍍(du)膜(mo)工(gong)(gong)(gong)藝,多數(shu)均要求事先對工(gong)(gong)(gong)件(jian)進行(xing)嚴格(ge)清洗,既(ji)復雜又費事。然而,離(li)子鍍(du)工(gong)(gong)(gong)藝自身就(jiu)有一種離(li)子轟擊清洗作用,并且這一作用還一直(zhi)延續(xu)于(yu)整個鍍(du)膜(mo)過程。清洗效(xiao)果極好(hao),能使(shi)鍍(du)層(ceng)直(zhi)接貼近基(ji)體,有效(xiao)地增強(qiang)了附著(zhu)力(li),簡化了大量(liang)的鍍(du)前清洗工(gong)(gong)(gong)作。

可鍍材料廣泛

離(li)子鍍(du)由(you)于是利用高能(neng)離(li)子轟擊工(gong)(gong)(gong)件(jian)表面(mian),使大(da)量(liang)的(de)(de)電能(neng)在(zai)工(gong)(gong)(gong)件(jian)表面(mian)轉換成熱(re)能(neng),從而(er)促進了表層組織(zhi)的(de)(de)擴散作用和(he)化(hua)學反應(ying)。然而(er),整個工(gong)(gong)(gong)件(jian),特別(bie)是工(gong)(gong)(gong)件(jian)心部(bu)并未受到(dao)高溫的(de)(de)影響。因此這種鍍(du)膜(mo)工(gong)(gong)(gong)藝的(de)(de)應(ying)用范(fan)圍較(jiao)廣(guang),受到(dao)的(de)(de)局限性則較(jiao)小。通常(chang),各種金(jin)屬(shu)(shu)、合(he)金(jin)以及某些合(he)成材(cai)料(liao)、絕緣材(cai)料(liao)、熱(re)敏材(cai)料(liao)和(he)高熔點材(cai)料(liao)等(deng)均可(ke)(ke)鍍(du)復。即可(ke)(ke)在(zai)金(jin)屬(shu)(shu)工(gong)(gong)(gong)件(jian)上(shang)鍍(du)非(fei)金(jin)屬(shu)(shu)或金(jin)屬(shu)(shu),也可(ke)(ke)在(zai)非(fei)金(jin)屬(shu)(shu)上(shang)鍍(du)金(jin)屬(shu)(shu)或非(fei)金(jin)屬(shu)(shu),甚至可(ke)(ke)鍍(du)塑料(liao)、橡膠、石(shi)英、陶瓷(ci)等(deng)。

離子束濺射系統


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