磁控濺射儀當然有輻射，

1、可見光(guang)波段：陰極發射(she)的電(dian)子電(dian)離介質氣體分子，分子/原子光(guang)譜。這(zhe)些光(guang)密度不(bu)大，不(bu)至于(yu)刺傷鈦合金狗眼. 屬于(yu)無害輻射(she)。

2、不可(ke)見光波(bo)段(duan)：陰極發射的電子(zi)電離介質(zhi)氣體分(fen)子(zi)，紅外(wai)/紫外(wai)，分(fen)子(zi)/原子(zi)光譜。 紫外(wai)輻射有害

3、X射線(xian)(xian)：氣體電(dian)(dian)(dian)離后的(de)(de)離子(zi)，在陰(yin)極加(jia)快場作用，轟擊(ji)陰(yin)極靶材，作用區也比(bi)較復雜，除(chu)了(le)完結(jie)離子(zi)刻蝕濺射以外，還有類似(si)掃描電(dian)(dian)(dian)鏡類似(si)的(de)(de)散射出現(xian)(xian)，如二(er)次(ci)電(dian)(dian)(dian)子(zi)，二(er)次(ci)離子(zi)，及各(ge)種射線(xian)(xian)輻射。在樣品(pin)端，電(dian)(dian)(dian)子(zi)會激宣布(bu)更多X射線(xian)(xian)，雖(sui)然磁控設備(bei)讓大(da)(da)部分(fen)(fen)電(dian)(dian)(dian)子(zi)行(xing)程增加(jia)，到達樣品(pin)其(qi)能(neng)(neng)(neng)量衰減近乎(hu)零，但會有一部分(fen)(fen)陰(yin)極電(dian)(dian)(dian)子(zi)或二(er)次(ci)電(dian)(dian)(dian)子(zi)以zui大(da)(da)能(neng)(neng)(neng)量轟擊(ji)樣品(pin)，然后會有X射線(xian)(xian)發生，假如銜接類似(si)掃描電(dian)(dian)(dian)鏡附件X射線(xian)(xian)能(neng)(neng)(neng)譜儀(yi)，你會發現(xian)(xian)驚喜！

至于這些X射(she)(she)線是(shi)否有害，一般來說，紫外粒子能(neng)量足以(yi)電離物質(zhi)，磁控濺射(she)(she)儀作業(ye)電壓3000V，理(li)論上zui大輻(fu)射(she)(she)能(neng)量3Kev,  這些輻(fu)射(she)(she)是(shi)相當危險的。

關于掃描電(dian)(dian)鏡樣品制(zhi)備(bei)馳奔小型濺(jian)射儀來說，大多1000V以下作業電(dian)(dian)壓， 玻(bo)璃罩子可以有(you)用(yong)阻遏紫外能(neng)量以上的(de)高(gao)能(neng)射線(xian)，而(er)可見光輻射對人底子無害。

而高能濺射(she)儀，可(ke)(ke)獲(huo)得更高濺射(she)功率和膜層(ceng)牢固度，多選用不銹鋼作業(ye)首要室，除(chu)了可(ke)(ke)獲(huo)得超高真空(kong)以外，防(fang)護有害(hai)輻(fu)射(she)才能更強(qiang)。

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