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一(yi)、A100L/A200L是緊(jin)湊(cou)型(xing)干泵(beng)
用于(yu)潔凈制程的(de)整體(ti)式干泵
具有緊湊(cou)(cou)結(jie)構(gou)的潔(jie)凈制程整體(ti)式干泵是(shi)專(zhuan)為滿足半導(dao)體(ti)生產設施(shi)中的靈活(huo)彈(dan)性集成要(yao)求而(er)開發的。為了在(zai)方便在(zai)機(ji)臺內(nei)直接(jie)安裝(zhuang)和快速抽空(kong)的設計要(yao)求,用于(yu)潔(jie)凈制程的該系列(lie)緊湊(cou)(cou)型泵是(shi)裝(zhuang)載互鎖、傳輸室以及其他(ta)非腐蝕性應用的解決方案。
針對高氣流量應用的全(quan)新解決方(fang)案(an)
普(pu)發真空推(tui)向市(shi)場的用于高氣流(liu)量應用的全新200m3/h級別(bie)產(chan)品A200L,再次展示出了其在(zai)整體式干泵市(shi)場中(zhong)全球領(ling)導地位。憑借(jie)著100m3/h 級別(bie)產(chan)品A100L和200m3/h 級別(bie)產(chan)品A200L,普(pu)發真空為一切潔(jie)凈(jing)制程應用提供完整的產(chan)品種類。
優勢
● 高(gao)氣流量(liang)
● 體積小(xiao)巧
● 裝(zhuang)配優化
● 購置成本(ben)低(di)
應用
● 裝載互鎖(suo)和傳輸室
● 半導(dao)體生產
● 光伏
引導行業的(de)整體式干泵
自從A100L泵(beng)(beng)問(wen)市以來,它(ta)改(gai)變了半導體(ti)行業生產設施中泵(beng)(beng)的(de)集成問(wen)題(ti)。基于干式多(duo)級羅茨(ci)泵(beng)(beng)技術,盡(jin)管(guan)尺寸小,整體(ti)式干泵(beng)(beng)依(yi)然(ran)提供了高抽速(su)和短(duan)抽空(kong)時間的(de)特點。如今,整體(ti)式潔凈制程的(de)干泵(beng)(beng)泵(beng)(beng)是先(xian)進的(de),且A100系列在全世(shi)界范圍內很多(duo)300mm半導體(ti)工廠內進行了安(an)裝。
用于裝(zhuang)載互鎖和傳輸(shu)室的整(zheng)體式干泵(beng)
在諸如(ru)裝載互(hu)鎖和傳輸室等潔凈制程應(ying)用中,這些泵排除了泵安(an)裝中的(de)真空(kong)管(guan)路影響。通過(guo)使用整(zheng)體式干泵,可(ke)降低真空(kong)管(guan)路安(an)裝、集(ji)成和調(diao)試的(de)成本。該(gai)泵在生(sheng)產(chan)過(guo)程中提(ti)供可(ke)持(chi)續的(de)杰出(chu)性(xing)能(neng)且具有(you)高效節能(neng)的(de)特點。高可(ke)靠性(xing)和長期穩(wen)定性(xing)使該(gai)泵脫(tuo)穎而出(chu)。
整體式干泵(beng)——不(bu)僅(jin)僅(jin)用于半導體行業
該泵(beng)能提供干燥和無塵的(de)潔凈真空(kong),整體(ti)式(shi)干泵(beng)也(ye)為(wei)太陽(yang)能光(guang)電設備提供上佳解決方案。低(di)噪音(yin)和低(di)振(zhen)動(dong)是該水冷卻(que)系列的(de)另一優勢。小巧的(de)體(ti)積保證了其在大型(xing)機臺內集(ji)成的(de)便(bian)利性。
產品名稱:干式真空泵
二、磁懸浮渦輪(lun)分子泵
電磁軸承也(ye)被(bei)稱作“主動式磁懸浮軸承”,其轉(zhuan)子位置會被(bei)不間斷的監測和自動調整,并依靠自動平(ping)衡補償來實(shi)(shi)現無磨(mo)損、低震動的運行。保證(zheng)轉(zhuan)子能持(chi)續穩(wen)定的工作。同時,這樣的軸承設計(ji)也(ye)實(shi)(shi)現了零維護(hu)和無潤(run)滑油。
5軸磁(ci)懸浮渦輪分子泵
技術(shu)上(shang)的(de)杰(jie)作
HiPace M和(he)(he)ATH 500 M擁有5軸(zhou)磁軸(zhou)承。利用(yong)這種軸(zhou)承技術,轉子 的(de)位置能被實時控制。在(zai)工(gong)作中,動(dong)平衡裝置會進(jin)行(xing)自動(dong)校準,可(ke)以極(ji)小(xiao)程度(du)上減(jian)輕震(zhen)動(dong)和(he)(he)工(gong)藝過程中產生的(de)軸(zhou)承位移。低能耗和(he)(he)極(ji)低的(de)維護成本(ben)確保了(le)其極(ji)高(gao)的(de)性價比。
超強的兼(jian)容性
是否覺得不同的(de)(de)界面接(jie)口(kou)(kou)標準讓您頭疼不已?我們的(de)(de)磁懸浮渦輪分 子泵能(neng)提供集成化(hua)的(de)(de)電子驅(qu)動裝置供您選擇,從而滿足(zu)各(ge)種不同界 面接(jie)口(kou)(kou)的(de)(de)連接(jie)需要(yao)。
可靠
我們(men)ATH M和ATP M系列的(de)(de)磁(ci)(ci)懸浮渦輪分子泵擁有5軸(zhou)(zhou)磁(ci)(ci)軸(zhou)(zhou)轉子 監(jian)測(ce)系統和實時的(de)(de)轉子位移自動修(xiu)正(zheng)功能(neng)(neng)。通過(guo)采用(yong)這種高性(xing)能(neng)(neng)的(de)(de) 軸(zhou)(zhou)承技術,我們(men)的(de)(de)泵不僅能(neng)(neng)確保長(chang)時間的(de)(de)穩定性(xing)和可靠性(xing),同時運(yun) 行(xing)時也非(fei)常安靜。此(ci)系列軸(zhou)(zhou)承技術的(de)(de)泵在半導體、鍍膜和干(gan)蝕刻等 離(li)子體過(guo)程行(xing)業的(de)(de)高真空(kong)工藝中(zhong)具有標(biao)桿地(di)位,此(ci)外(wai)也廣泛應(ying)用(yong)于 許多其他工業行(xing)業和研(yan)發領域。
產品名(ming)稱:半磁浮(fu)渦輪分子泵